功能平臺(tái)
研發(fā)流片服務(wù)
浙江邁創(chuàng)微電子技術(shù)有限公司擁有一條完整的12英寸后段工藝中試線，具備從研發(fā)到小規(guī)模量產(chǎn)的全套能力，可為合作伙伴提供全方位的流片及工藝開發(fā)服務(wù)。
服務(wù)項(xiàng)目：
（1）無圖案的介質(zhì)薄膜沉積：如TEOS，SiN，LTO等
（2）無圖案的金屬薄膜沉積：如Ta/TaN，Ti/TiN，Al，Cu，Co，CoFe，Ru等
（3）光刻材料涂布：如光刻膠、BARC、SOC等
（4）無圖案的結(jié)構(gòu)片加工：根據(jù)合作伙伴需求，提供多層膜的結(jié)構(gòu)片加工及在線工藝檢測服務(wù)
（5）圖案化的結(jié)構(gòu)片加工：根據(jù)合作伙伴需求，提供圖案設(shè)計(jì)、光罩設(shè)計(jì)、圖案化加工及在線工藝檢測等多種服務(wù)和支持
（6）工藝的平臺(tái)化技術(shù)服務(wù)，包括工藝定制、良率提升等。